含氢类金刚石（DLC）涂层的主要成份是碳，是一种兼有高硬度与优异摩擦性能的非晶体硬质薄膜由石墨(SP2)与金刚石（SP3）组成。由于其优异的摩擦性能，在工业上得到广泛应用。特别是在无润滑剂情况下，摩擦系数也很低(µ=0.005～0.2)。

含氢类金刚石（DLC）涂层摩擦系数小，而且抗粘附性好，硬度高、耐磨性优良。

SP3金刚石的碳原子在空间构成连续、坚固的骨架结构，所以坚硬，成正八面体晶状体。

SP2石墨的碳原子呈平面层状结构，层与层之间的作用力小，所以很软，能导电，有滑感的鳞片状结构

此类类金刚石(DLC)涂层通常由含氢(H)气体如乙炔C2H2，甲烷CH4经过PECVD的方式获得.而且可以在较低工艺温度下获得，工艺温度最低可以低于80°C，从而可以有效解决材料热变形等缺陷。