通常由石墨靶材直接溅射出碳原子形成。而且可以在常温下进行涂层，对基材的范围选择比较广，突破原有涂层对基材的限制，如一些非金属基材橡胶、塑料、陶瓷等多可以进行涂层。TaC涂层里金刚石SP3成分含量高，最高可以达到80%。但是此类涂层内应力较大，脆性高，通常不能沉积太厚的涂层,因此使用范围比较受限制。